| 项目 | 规格 技术参数 |
| 外形尺寸 | 1050(L)×950(W)×1800(H)mm |
| 设备运行CT | 6s |
| 对位元元元方式 | 机构定位+CCD对位，定位精度±0.02mm |
| 适应产品 | 6～15.6寸 |
| 设备故障率 | ≤0.5% |
| 产品合格率 | ≥99.9% |
| 换机种时间 | ≤0.5h |
| 上料方式 | 人工上料到定位平台 |
| 下料方式 | 人工从定位平台下料 |
| 气源 | 气压：0.5～0.7MPa |
| 电源 | AC220V/50Hz |
| 额定功率 | 3.5KW |
| 机器重量 | 300KG |
| 参数设定 | 可在人机介面上设定配方，各轴参数 |
| 使用环境 | 干净、无尘、千级及以上洁净房 |
| 安全保护 | 安全光栅+急停开关+门禁+软体互锁 |
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